EUV-литография: как “ультрафиолет” печатает микросхемы
EUV-литография: как “ультрафиолет” печатает микросхемы Производство современных микросхем — одна из самых технологичных и сложных задач в инженерной сфере. За последние десятилетия масштабы микроэлектроники достигли таких высот, что для изготовления чипов используются стандартные световые источники, способные пропускать свет длиной в несколько нанометров. В этой гонке за уменьшение размеров элементов на микросхемах особое место занимает EUV-литография …